La microscopie électronique repose sur le même principe que la microscopie optique, à la différence près que le rayon incident est constitué par un faisceau d’électrons au lieu d’un rayon de lumière visible. La Microscopie Electronique à Balayage (MEB) permet d’obtenir une image réfléchie (agrandie jusqu’à 100 000 fois ou plus) de l’échantillon, mettant en évidence des détails (comme ” l’effet profondeur “) impossibles à déceler autrement. La technique d’examen du MEB sert pour l’étude des matériaux solides. La préparation de l’échantillon consiste à rendre celui-ci conducteur (s’il ne l’est pas déjà) en employant une matrice à base de carbone et de couches d’or-palladium et comprend des variantes selon les matériaux et la finalité de l’analyse.
Microanalyse électronique par rayons X (MEB + microsonde EDS)
Cet outil est d’une grande utilité pour l’étude des surfaces ; il s’agit de la ” microsonde à rayons X ” installée sur le MEB. Elle consiste en un système où le faisceau ponctuel d’électrons envoyé sur l’échantillon génère des rayons X de fluorescence. Ce dispositif permet la microanalyse chimique du matériau dont la fiabilité est exceptionnelle.